תַצהִיר
השג תובנות והאיץ את תהליך הפיתוח.
Advanced Energy מספקת פתרונות אספקת חשמל ובקרה ליישומים קריטיים של שקיעת סרט דק וגיאומטריות מכשירים.כדי לפתור אתגרי עיבוד פרוסות, פתרונות המרת ההספק המדויקת שלנו מאפשרים לך לייעל את דיוק ההספק, הדיוק, המהירות והחזרה על התהליך.
אנו מציעים מגוון רחב של תדרי RF, מערכות כוח DC, רמות תפוקה מותאמות אישית, טכנולוגיות תואמות ופתרונות ניטור טמפרטורה בסיבים אופטיים שבאמת מאפשרים לך לשלוט טוב יותר בפלזמה התהליך.אנו משלבים גם את Fast DAQ™ ואת חבילת רכישת הנתונים והנגישות שלנו כדי לספק תובנות תהליכיות ולהאיץ את תהליך הפיתוח.
למד עוד על תהליכי ייצור המוליכים למחצה שלנו כדי למצוא את הפתרון המתאים לצרכים שלך.
האתגר שלך
מסרטים המשמשים לדפוס ממדי מעגלים משולבים לסרטים מוליכים ומבודדים (מבנים חשמליים), לסרטי מתכת (חיבור הדדיים), תהליכי התצהיר שלך דורשים בקרה ברמה אטומית - לא רק עבור כל תכונה אלא על פני כל הפרוסה.
מעבר למבנה עצמו, הסרטים המופקדים חייבים להיות באיכות גבוהה.הם צריכים להיות בעלי מבנה גרגר רצוי, אחידות ועובי התאמה, ולהיות נטולי חללים - וזה בנוסף לספק לחצים מכניים נדרשים (דחיסה ומתיחה) ותכונות חשמליות.
המורכבות רק ממשיכה לעלות.כדי לטפל במגבלות הליתוגרפיה (צמתים תת-1X ננומטר), טכניקות הדפסה כפולה ומרובעת בהתאמה עצמית מחייבות את תהליך ההצבה שלך כדי לייצר ולשחזר את התבנית על כל רקיק.
הפתרון שלנו
כאשר אתה פורס את יישומי ההפקדה והגיאומטריות הקריטיות ביותר של המכשיר, אתה צריך מוביל שוק אמין.
אספקת כוח ה-RF וטכנולוגיית ההתאמה המהירה של Advanced Energy מאפשרים לך להתאים אישית ולמטב את דיוק ההספק, הדיוק, המהירות והחזרה על התהליך הנדרשים עבור כל תהליכי השקעת PECVD ו-PEALD המתקדמים.
השתמש בטכנולוגיית מחולל ה-DC שלנו כדי לכוונן עדין את תגובת הקשת הניתנת להגדרה, דיוק ההספק, המהירות והחזרה על התהליך הנדרשים בתהליכי PVD (קיטוב) ו-ECD.
יתרונות
● יציבות פלזמה משופרת וחזרה על התהליך מגדילות את התשואה
● אספקת RF ו-DC מדויקת עם שליטה דיגיטלית מלאה עוזרת לייעל את יעילות התהליך
● תגובה מהירה לשינויי פלזמה וניהול קשת
● פעימה רב-שכבתית עם כוונון תדרים אדפטיבי משפרת את סלקטיביות קצב הצריבה
● תמיכה גלובלית זמינה כדי להבטיח זמן פעולה מרבי וביצועי מוצר