תַצהִיר
השג תובנות והאצ את תהליך הפיתוח.
חברת Advanced Energy מספקת פתרונות אספקת חשמל ובקרה עבור יישומי שיקוע שכבות דקות קריטיים וגיאומטריות של התקנים. כדי לפתור אתגרי עיבוד פרוסות סיליקון, פתרונות המרת החשמל המדויקים שלנו מאפשרים לך לייעל את דיוק החשמל, הדיוק, המהירות וחזרתיות התהליך.
אנו מציעים מגוון רחב של תדרי RF, מערכות כוח DC, רמות תפוקת הספק מותאמות אישית, טכנולוגיות התאמה ופתרונות ניטור טמפרטורה באמצעות סיבים אופטיים המאפשרים לכם לשלוט טוב יותר בפלזמת התהליך. אנו משלבים גם את Fast DAQ™ ואת חבילת איסוף ונגישות הנתונים שלנו כדי לספק תובנות תהליך ולהאיץ את תהליך הפיתוח.
למדו עוד על תהליכי ייצור המוליכים למחצה שלנו כדי למצוא את הפתרון המתאים לצרכים שלכם.
האתגר שלך
החל מסרטים המשמשים לעיצוב ממדי מעגלים משולבים, דרך סרטים מוליכים ומבודדים (מבנים חשמליים) ועד סרטי מתכת (חיבורים), תהליכי השקיעה שלכם דורשים בקרה ברמה אטומית - לא רק עבור כל מאפיין אלא על פני כל הוופל.
מעבר למבנה עצמו, הסרטים המופקדים חייבים להיות באיכות גבוהה. עליהם להיות בעלי מבנה גרגירים, אחידות ועובי קונפורמי רצויים, ולהיות נטולי חללים - וזאת בנוסף לספק את התכונות המכניות (דחיסה ומתיחה) והחשמליות הנדרשות.
המורכבות רק ממשיכה לגדול. כדי להתמודד עם מגבלות הליתוגרפיה (צמתים מתחת ל-1X ננומטר), טכניקות יצירת דפוסים כפולים ומרובעים בעלי יישור עצמי דורשות שתהליך ההפקדה שלך ייצור וישחזר את התבנית על כל פרוסה.
הפתרון שלנו
כשאתם פורסים את יישומי השיקוע והגיאומטריות הקריטיות ביותר של התקנים, אתם זקוקים למובילה בשוק אמינה.
טכנולוגיית אספקת הספק RF והתאמת מהירות גבוהה של Advanced Energy מאפשרות לך להתאים אישית ולמטב את דיוק ההספק, הדיוק, המהירות וחזרתיות התהליך הנדרשים עבור כל תהליכי השיקוע המתקדמים של PECVD ו-PEALD.
השתמשו בטכנולוגיית גנרטור הזרם הישר שלנו כדי לכוונן את תגובת הקשת הניתנת להגדרה, דיוק ההספק, המהירות וחזרתיות התהליך הנדרשים לתהליכי PVD (התזה) והשקיעת ECD.
יתרונות
● יציבות פלזמה משופרת וחזרה על התהליך מגדילה את התפוקה
● אספקת RF ו-DC מדויקת עם בקרה דיגיטלית מלאה מסייעת לייעל את יעילות התהליך
● תגובה מהירה לשינויים בפלזמה וניהול קשת
● פעימה רב-מפלסית עם כוונון תדר אדפטיבי משפרת את סלקטיביות קצב האיכול
● תמיכה גלובלית זמינה להבטחת זמן פעולה וביצועי מוצר מרביים