כוח מיקרוגל
-
כוח מיקרוגל
ספק כוח מיתוג מיקרוגל הוא סוג חדש של ספק כוח מיקרוגל המבוסס על טכנולוגיית מהפך בתדר גבוה של IGBT.הוא משלב ספק כוח אנודה במתח גבוה, ספק כוח נימה וספק כוח של שדה מגנטי (למעט ספק כוח מיקרוגל 3kW).מגנטרון הגל מספק תנאי עבודה.מוצר זה משמש ב-MPCVD, תחריט פלזמה במיקרוגל, פיזור פלזמה במיקרוגל ותחומים אחרים.