ספק כוח התזה בתדר בינוני מסדרת MSB
-
ספק כוח התזה בתדר בינוני מסדרת MSB
ספק כוח RF מסדרת RHH מסתמך על טכנולוגיית ייצור RF מתקדמת כדי לספק ללקוחות ספק כוח RF עם הספק רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה. ניתן לכוון פאזה, לשלוט בפולסים, כוונון דיגיטלי ופונקציות אחרות. תחומים רלוונטיים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צגי שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
תהליכים רלוונטיים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), איכול בפלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה בפלזמה, התזה באמצעות פולימריזציה בפלזמה, התזה ריאקטיבית וכו'.