ספק כוח RF
-
ספק כוח RF מסדרת RLS
ספק הכוח RF מסדרת RLS מאמץ את מגבר ההספק הנוכחי היציב והאמין ואת מערכת בקרת הליבה DC של החברה, כך שלמוצר יש ביצועים יציבים מאוד ואמינות מוצר גבוהה.לאמץ ממשק תצוגה סינית ואנגלית, קל לתפעול.משמש בעיקר בתעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית תצוגה שטוחה, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
-
תואמים מסדרת RMA
זה יכול להיות מותאם לספק כוח RF מסדרת RLS, והוא נמצא בשימוש נרחב בתחריט פלזמה, ציפוי, ניקוי פלזמה, פיזור פלזמה ותהליכים אחרים.בשימוש לבד, ניתן להשתמש בו יחד עם ספקי כוח RF של יצרנים אחרים.
-
ספק כוח RF סדרת RHH
ספק כוח RF מסדרת RHH מסתמך על טכנולוגיית ייצור RF בוגרת כדי לספק ללקוחות ספק כוח RF עם כוח רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה.עם פאזה ניתן להגדיר, ניתן לשליטה בדופק, כוונון דיגיטלי ופונקציות אחרות.תחומים ישימים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צג פנל שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
תהליכים ישימים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), תחריט פלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה של פלזמה, קיזור פילמור פלזמה, קיזור תגובתי וכו'.