טלפון: +86 19181068903

ספק כוח RF סדרת RHH

תיאור קצר:

ספק כוח RF מסדרת RHH מסתמך על טכנולוגיית ייצור RF בוגרת כדי לספק ללקוחות ספק כוח RF עם כוח רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה.עם פאזה ניתן להגדיר, ניתן לשליטה בדופק, כוונון דיגיטלי ופונקציות אחרות.תחומים ישימים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צג פנל שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
תהליכים ישימים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), תחריט פלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה של פלזמה, קיזור פילמור פלזמה, קיזור תגובתי וכו'.


פירוט המוצר

תגיות מוצר

שלחו לנו מייל

מאפיינים

● סגנונות חצי לבנים ותלייה מתלה
● אמצו שליטה דיגיטלית מלאה, עם תפריט תפעול נוח ועשיר
● פונקציות כוונון תדר, דופק וסנכרון דופק
● עם פונקציית סינכרון שלב CEX
● פונקציית הגנה מושלמת

פירוט המוצר

קֶלֶט מתח כניסה: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(ניתן להתאים אישית מפרטים מיוחדים)
תדר כניסה: 47~63Hz
תְפוּקָה תדר יציאה: 13.56 מגה-הרץ, 27.12 מגה-הרץ, 40.68 מגה-הרץ
טווח כוונון: ±5%
הספק פלט: 1.5 ~ 5 קילוואט
טווח ויסות של הספק פלט: 1 ~ 100%
עכבת מוצא: 50Ω+j0
ממשק פלט: סוג N
מצב פלט: רציף, דופק
תדר דופק: 100Hz~100kHz
מחזור עבודה: 5~95%
מדד ביצועים מקדם הספק: 0.98
דיוק יציבות תדר: ±0.005%
יעילות: 75% (בתפוקה מדורגת)
הרמונית: <-45dBc
תועה: <-50dBc
ממשק שליטה חיצוני: כמות אנלוגית, תקשורת וסנכרון
מצב תקשורת: ממשק תקשורת סטנדרטי RS485;Ether CAT אופציונלי, Ethernet תעשייתי וכו'.
הערה: המוצר ממשיך לחדש והביצועים ממשיכים להשתפר.תיאור פרמטר זה מיועד לעיון בלבד.


  • כתבו כאן את הודעתכם ושלחו אותה אלינו

    תשאיר את ההודעה שלך