ספק כוח מקרטעת
-
סדרת MSB תדר בינוני ספק כוח
ספק כוח RF מסדרת RHH מסתמך על טכנולוגיית ייצור RF בוגרת כדי לספק ללקוחות ספק כוח RF עם כוח רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה.עם פאזה ניתן להגדיר, ניתן לשליטה בדופק, כוונון דיגיטלי ופונקציות אחרות.תחומים ישימים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צג פנל שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.
תהליכים ישימים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), תחריט פלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה של פלזמה, קיזור פילמור פלזמה, קיזור תגובתי וכו'.
-
ספק כוח מקרטעת סדרת MSD
אספקת הכוח מקרטעת DC מסדרת MSD מאמצת את מערכת בקרת DC הליבה של החברה בשילוב עם ערכת עיבוד קשת מעולה, כך שלמוצר יש ביצועים יציבים מאוד, אמינות מוצר גבוהה, נזק בקשת קטנה וחזרה טובה של תהליך.לאמץ ממשק תצוגה סינית ואנגלית, קל לתפעול.