בקר הכוח מסדרת TPM5 מאמץ את רעיון עיצוב המודול ומשלב בתוכו עד 6 מעגלים.מוצרים משמשים בעיקר בתנורי דיפוזיה, PECVD, תנורי אפיטקסיה וכו'.